【新能源開發(fā)技術(shù)】多晶硅錠生產(chǎn)技術(shù)原理

一、 引言 二、 多晶爐內(nèi)熱場與硅錠的組織結(jié)構(gòu) 三、 定向凝固時(shí)硅中雜質(zhì)的分凝 四、 定向凝固硅晶體生長工藝方法 五、 熱交換法多晶爐型 六、 熱交換法工藝討論 七、 結(jié)晶爐結(jié)構(gòu)類型的選擇 八、 多晶硅片的高效率、高質(zhì)量生產(chǎn)方向